FlatMaster MSP300平面度儀平坦度儀
美國康寧Flatmaster MSP300平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行精密測量。FLATMASTER 300平面度測量儀可以實現自動、快速、準確、穩定的測量，超過20年的工業應用，幾百臺的裝機量。

美國康寧Corning Tropel Flatmaster MSP-300 平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業界*先的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的 數據。Flatmaster MSP-300平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行精密測量。FLATMASTER 300平面度測量儀可以實現自動、快速、準確、穩定的測量，超過20年的工業應用，幾百臺的裝機量。

       美國FlatMaster MSP-300平面度測量系統/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160  多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應用光學等材料科學和制程工藝領域的知識,  美國康寧CORNING平面度測量儀品牌創造并生產出了眾多被用于高科技消費電子、移動排放控制、通訊和平板顯示等科 學領域產品的關鍵組成部分。

測量300毫米玻璃和硅晶片的平面度，厚度和厚度變化的能力對于成功集成3DIC組件非常重要。 傳統的接觸式探頭或傳統的干涉測量系統太慢，或者對于較大的視野而言沒有必要的精度。 Tropel®FlatMaster®MSP-300（平面度測量儀）是一種****，可為300毫米玻璃和硅晶片提供快速，準確的測量。 在幾秒鐘內，以亞微米的精度收集了超過300萬個數據點，從而能夠表征整個表面的總厚度和平坦度

測量多種不同指標：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度
/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統：
?三維/ 拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑
切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實現自動、 快速、準確、穩定且靈活的測量

技術參數：
   ?    重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
   ?    分辨率：5nm （0.2μ″）
   ?    可測量工件尺寸：5mm-300mm
   ?    動態測量范圍：>100um
   ?    測量數據點：230,000
   ?    測量時間：5秒
   ?    電源：～220V 50Hz